2019/02/22
・施設利用停止
2019/02/21
【重要】3月分請求書の早期発行処理について
3月分請求書を3月中にお手元にご希望の際は、装置の利用を3月前半で終了していただく必要がございます。(技術代行等含む)ご希望の利用者様はその旨を事務のほうまでご連絡ください。ご連絡がない場合は、通常処理となりますため、3月分の請求書は4月10日前後の発送となります。
2019/02/08
・装置利用休止【A05,B05:2019/2/27~4/5】
2019/01/07
・装置メンテナンス【A15/⼤⾯積超⾼速電⼦ビーム描画装置: 2019/3/18~3/29】
2018/10/23
・装置利用上の注意【A02/露光装置(ステッパー)】
2017/06/29
・装置講習標準時間表(各装置講習&安全教育の受講者向け)
2017/05/01
・ユーザーマニュアル(設備利用管理システム)



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