京都大学 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点設備利用管理システム

2019/02/08

・装置利用休止【A05，B05：2019/2/27～4/5】

2019/01/07

・装置メンテナンス【A15/⼤⾯積超⾼速電⼦ビーム描画装置: 2019/3/18～3/29】

2018/10/23

・装置利用上の注意【A02/露光装置(ステッパー)】

2017/06/29

・装置講習標準時間表（各装置講習＆安全教育の受講者向け）

2017/05/01

・ユーザーマニュアル（設備利用管理システム）